Dominik Stöffler - Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Dominik Stöffler - Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

43,20 €

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.

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Produktbeschreibung

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
Marke KIT Scientific Publishing
EAN 9783866448438
ISBN 978-3-86644-843-8
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