Markus Freitag - Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme

Markus Freitag - Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme

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Im Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei...

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Produktbeschreibung

Im Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei leichter Verdünnung, was bei den meisten kapazitiven MEMS den dominierenden Verlusteffekt darstellt.
Marke Universitätsverlag Chemnitz
EAN 9783961001132
ISBN 978-3-96100-113-2

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