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Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfügiger Veränderungen der Dämpfungsatmosphäre in Sensorkavernen auf die Zuverlässigkeit der Sensoren immer größer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt...
Direkt bei Thalia AT bestellenMarke | KIT Scientific Publishing |
EAN | 9783731511212 |
ISBN | 978-3-7315-1121-2 |