Robert Külls - Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.

Robert Külls - Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.

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In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.

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Produktbeschreibung

In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.
Marke Fraunhofer Verlag
EAN 9783839609026
ISBN 978-3-8396-0902-6
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